具有多功能性和高质量成像性能，采用了创新性的末级透镜设计，引入静电式末级透镜，支持镜筒内高分辨率检测，即使是针对磁性样品也可实现成像及分析性能。在原有性能基础之上，新一步优化了超高分辨成像能力，并且增设许多新功能提升其易用性。在耐用的SEM平台上引入了SmartAlign（智能对中）技术，不再需要用户手动进行调整操作，而且FLASH自动执行精细调节工作，只需移动鼠标几次，就可以完成必要的透镜居中、消像散和聚焦矫正。此外，是在10mm分析工作距离下具有1nm分辨率的SEM，远的工作距离不再意味着低分辨成像，系统还可升级实时元素谱/图成像功能，彻底颠覆了几十年来传统SEM-EDS固有的元素分析流程，将元素分析效率提升2倍有余。 任何用户都可以轻松地得到分析效果。
发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪
加速电压范围：200 V ~ 30 kV
着陆电压范围：200 eV ~ 30 keV
探针电流范围：1 pA ~ 50 nA，连续可调（可选配400 nA）
水平视场宽度：10 mm WD时为3 mm（相当于最低放大倍率29倍）
X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角35°
样品室：从左至右为340mm宽的大存储空间，样品室可拓展接口数量12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）
样品台：五轴优中心全自动马达驱动X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o （连续旋转）
多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）
探测器系统：
样品室二次电子探测器ETD
镜筒内背散射电子探测器T1
镜筒内二次电子探测器T2
镜筒内二次电子探测器T3（选配）
样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
样品室低真空二次电子探测器（选配）
可伸缩透镜下背散射探测器（选配）
控制系统：
操作系统：Windows 10
图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200
支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像
软件支持Undo和Redo功能
全面解析
全面的纳米和亚纳米分辨率性能，适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、大块磁性样品等材料；
灵活性
非常灵活的处理范围广泛的样品类型，包括绝缘体，敏感材料，或磁性样品，并收集对您的应用最重要的数据；
SmartAlign技术
使用SmartAlign技术(智能调整光学系统)，实现光学系统自动调整，减少维护时间；
自动化
自动化包括FLASH自动图像微调、撤销、用户向导、Maps成像拼接的FLASH技术；
实时定量EDS
元素信息触手可及，利用ColorSEM技术，提供实时元素面分布成像定量分析，结果获取更加快速、简便；
标准工作流操作
内置了User Guidance（用户工作流）功能，无论是初学者还是经验丰富，都能够快速上手，并稳定获取实验数据。
