热式气体质量流量计是利用热传导原理测流量的仪表。该仪表采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成。采用桥式环路，一个传感器测量流量温度，另一个传感器维持高于流体温度的恒温差，可以在高温和高压条件下进行流量测量。热式气体质量流量计具有如下技术优势：

●真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。可得到气体的质量流量或者标准体积流量。

●宽量程比，可测量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的气体，可以用于气体检漏。

●抗震性能好使用寿命长。传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。

●安装维修简便。在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。

●数字化设计。整体数字化电路测量，测量准确、维修方便。

●采用RS-485通讯，或HART通讯，可以实现工厂自动化、集成化。

工作原理

热式气体质量流量计的传感器部分由二个精密铂热电阻组成。该电阻封装在不锈钢管内，与流体介质不直接接触，但有良好的传热性能。其中一根较短的为介质温度传感元件；另一根为加热元件。当气体流过加热元件时．将热量带走．带走的的热量与流体的流速和流体的密度成正比。流量计由两个温度传感器组成。 一定量的加热功率P施加至其中一个传感器上．使其温度升高至被测值T2。另一个传感器测量气体温度T1。根据被加热器传感器和气体的温差(△T2T1)和所加热功率P就可以确定气体的质量流量。

这被称为金氏定律。取决于传感器的几何尺寸和气体特性，如热导率、粘度和比热容。

这些系数的数值是流量计和气体所特有的，因此ITMF流量计必须根据所要测量的气体进行校准。在实际应用中，测量气体质量流量的方法有两种：恒定功率法或恒定温差法。

为了保持Ts与Ta之间固定的温差，电路必须向加热元件提供更多的功率。电路中输出功率的大小，直接与流体的质量流量有关，通过测量电路的输出功率可得到对应的质量流量。由于加热元件上的热量主要是由气体分子流动带走的，而不是热传导的作用。所以这种流量计在一定工况范围内几乎与流体的成份无关。