快速获取高质量数据
• 以优异的空间分辨率(<10 1="" nm="" br="">(0.1 nm)采集 CL 数据
• 采集同时具有角度和波长分辨能力的 CL 数据
• 相较前代技术,以高达30倍的更快速度采集超光谱(hyperspectral)数据
操作简便
• 通过全自动的光路对准和基于配方驱动的操作,得到优化的结果
• 恒常对准的光路为短期与长期工作带来可重复的结果
• 大视野提高数据采集通量,并简化用户的工作流程
与其它信号的精确关联
• 同时侦测多种信号,对物理性质或成分信息与CL数据进行关联成像
• 不需折衷妥协——在进行CL测量的同时,充分利用 SEM 的 in-lens探头